Die Hauptmethoden zum Erkennen von Lecks in Vakuumsystemen umfassen Folgendes:
Pressures Leckerkennungsmethode: Diese Methode besteht darin, einen bestimmten Druck aus Gas (wie Luft oder Wasser) in das Vakuumsystem zu füllen und dann zu prüfen, ob das Gas vom Leckpunkt aus austritt. Zu den spezifischen Operationen gehören die Erkennung von Wasserfüllung und Druckprüfung. Die Erkennung von Wasserfüllung muss durchgeführt werden, wenn das System heruntergefahren und kalt ist. Der Nachteil ist, dass es nur Lecks erkennen kann, die unter Expansionsdruck vorhanden sind. Die Druckprüfmethode besteht darin, das Überdruckgas zu füllen und Seifenwasser anzuwenden, um den Leckpunkt zu überprüfen. Der Nachteil ist, dass es zeitaufwändig und arbeitsintensiv ist und von der Umwelt stark beeinflusst wird.
VACUUM LAKE DEALTICTION METHODEL: Diese Methode soll das zu testende System in einen Vakuumzustand evakuieren und dann den Leckpunkt erfassen, indem sie eine außen angewandte Lecksubstanz anwenden. Der Vorteil ist, dass die Erkennung während des Laufens des Systems durchgeführt werden kann, und der Nachteil ist, dass die Empfindlichkeit von Umweltfaktoren beeinflusst wird.
Helium -Massenspektrometrie -Leckdetektionsmethode: Diese Methode hat eine hohe Empfindlichkeit und kann extrem kleine Leckraten erkennen, aber die Ausrüstung ist teuer und der Betrieb ist kompliziert.
Halogen -Leck -Nachweismethode: Der Vorteil ist niedrige Kosten, aber die Empfindlichkeit ist der Nachweis des Heliummassenspektrometrie -Lecks geringfügig unterlegen.
Ultrasonische Leckerkennungsmethode: Identifizieren Sie Lecks, indem Sie Ultraschallwellen erfassen, die durch Lecks erzeugt werden, aber leicht durch andere Geräusche gestört werden können.
Definition und Bedeutung des Vakuumsystems: Ein Vakuumsystem bezieht sich auf ein System, das in einem geschlossenen Raum einen hochreinen und stabilen Vakuumzustand erreicht. Der effektive Betrieb eines Vakuumsystems hängt von seiner Versiegelung ab, und jedes Leck wirkt sich auf die Leistung des Systems und der Produktqualität aus. Daher ist die Erkennung von Vakuumlecks für die Aufrechterhaltung der Systemleistung, die Verbesserung der Produktqualität und die Gewährleistung der Sicherheit von wesentlicher Bedeutung.
